们都是重金属,目前还没有分离它们的办法,不过材料研究所的人正在紧锣密鼓的研究,相信过段时间就会做出突破。”冰雪女妖说道。
“嗯,你们做的不错,另外注意下新人,看看没有好的苗子,如果有的话好好培养一下,但是要注意笼络,不要让他们跑了。”方浩吩咐道。
“嘻嘻,你放心吧,这些事情我有注意。”冰雪嘻嘻一笑,说道。
……
机械研究所,到处是隆隆作响的机器,河陪着方浩视察着。
“我们的掺杂技术有了多少进展?”看着面前的机器,方浩问道。
“我们进展很顺利,还要感谢你的提示,我们班能这么快找到办法,目前进展速度最快的掺杂技术有两种,高温扩散掺杂和离子注入掺杂,目前的进度很快,想必不需要多久就可以实现初步的量产。”河回答道。
“不要急,我们慢慢来,掺杂技术的前景很大,我们要为以后的发展打下基础,不能光赶进度。”方浩道。
“我知道,相关的数据我们一直在收集和处理。”河回道。
热扩散技术是一种比较容易的掺杂技术,想要把杂质掺入半导体晶体,就需要进行较高温度的热扩散,因为杂质原子的半径一般都比较大,它们要直接进入半导体晶格的间隙中去,这样是很困难的,只有当晶体中出现有晶格空位后,杂质原子才有可能进去占据这些空位,并从而进入到晶体。
为了让晶体中产生出大量的晶格空位,所以,就必须对晶体加热,让晶体原子的热运动加剧,以使得某些原子获得足够高的能量而离开晶格位置、留下空也因此原子的扩散系数随着温度的升高而指数式增大。
离子注入掺杂技术是一种比较先进的技术,为了使杂质原子能够进入到晶体中去,需要首先把杂质原子电离成离子,并用强电场加速、让这些离子获得很高的动能,然后再直接轰击晶体、并挤进到里面去,这就是注入。
当然,采用离子注入技术掺杂时,必然会产生出许多晶格缺陷,同时也会有一些原子处在间隙中,所以,半导体在经过离子注入以后,还必须要进行退火处理,以消除这些缺陷和使杂质激活。
因为杂质原子要能够提供载流子,就必须处于替代si原子的位置上,这样才能产生载流子。
所以在半导体中,即使掺入了杂质原子,但是如果这些杂质原子没有进入到替代位置,那么它们也将起不到提供载流子的作用,因此,还需要进行一定的热处理步骤。